2024年11月9日
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王晓荣
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3
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供职机构:
复旦大学
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相关领域:
电子电信
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合作作者
蒋玉龙
复旦大学
屈新萍
复旦大学
李炳宗
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茹国平
复旦大学
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 纳米压印技术
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供职机构
所获资助
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李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI SI
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蒋玉龙
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 金属栅 势垒 NISI 肖特基接触
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供职机构
所获资助
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茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 NISI 微电子 SI 金属栅
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