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王文荣

作品数：11 被引量：17H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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李铁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅纳米线 各向异性腐蚀 石墨烯 气体传感器 纳米
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周玉修
供职机构：九江学院理学院
研究主题：化学气相沉积 衬底 盖板 光学读出 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
梁晨
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 硫掺杂 衬底 半导体工艺 惰性气体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
冯飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：色谱柱 热导检测器 固定相 微机电系统 气相色谱柱
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢晓明
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：石墨烯 SQUID 磁传感器 读出电路 超导
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
霍建琴
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：温差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戈肖鸿
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 微机械 互连 多晶硅 各向异性腐蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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