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12 条 记 录,以下是 1-10
廖志远
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:数值孔径 光焦度 大数值孔径 成像质量 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邓超
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:数值孔径 大数值孔径 光焦度 成像质量 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
白瑜
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光学设计 数值孔径 光焦度 大数值孔径 红外光学系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢廷文
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:面形 数值孔径 光刻 光焦度 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吕保斌
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光焦度 大数值孔径 数值孔径 成像质量 投影物镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林妩媚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光刻 照明系统 光焦度 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘志祥
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:波像差 投影物镜 光学系统 大数值孔径 像差
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨雄
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:大数值孔径 数值孔径 场曲 像差 光焦度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
邢延文
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:投影物镜 光学系统 大数值孔径 像差 数值孔径
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
廖志杰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 照明系统 测量方法 透过率 光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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