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冷兴龙

作品数：38 被引量：6H指数：1
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信理学机械工程自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 13个电子电信
  • 12个一般工业技术
  • 12个理学
  • 11个机械工程
  • 10个自动化与计算...
  • 9个电气工程
  • 9个文化科学
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  • 8个金属学及工艺
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  • 3个经济管理
  • 3个建筑科学
  • 3个轻工技术与工...
  • 2个矿业工程
  • 2个航空宇航科学...
  • 2个环境科学与工...
  • 2个核科学技术
  • 1个天文地球
  • 1个石油与天然气...
  • 1个水利工程

主题

  • 13个刻蚀
  • 12个电极
  • 10个单晶
  • 10个等离子体
  • 10个电场
  • 10个发光
  • 9个电机
  • 9个电路
  • 9个芯片
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  • 7个电池
  • 7个电流
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  • 6个集成电路
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  • 5个等离子
  • 5个等离子体处理

机构

  • 11个中国科学院微...
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  • 1个中南大学
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  • 1个嘉兴科民电子...
  • 1个北京智朗芯光...

资助

  • 12个国家自然科学...
  • 9个国家重点基础...
  • 9个国家科技重大...
  • 8个中国科学院科...
  • 5个国家高技术研...
  • 4个北京市自然科...
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传媒

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  • 3个光谱学与光谱...
  • 3个仪表技术与传...
  • 3个电子器件

地区

  • 12个北京市
  • 1个广东省
共 13 条 记 录，以下是 1-10
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵丽莉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 离子注入 衍射效率 菲涅耳波带片 注入机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李楠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 启辉 等离子体 电极 半导体制造技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘涛
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 近场光学 白光干涉 激光干涉 蓝宝石
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
屈芙蓉
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘键
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 ALGAN/GAN_HEMT ALGAN/GAN 氮化碳薄膜 氮化碳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
卢维尔
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子体浸没离子注入 离子注入 等离子体 离子 薄膜封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
景玉鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅片 气敏传感器 光刻胶 刻蚀 临界态
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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