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王云翔

作品数：14 被引量：12H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
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合作作者

领域

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地区

  • 14个北京市
共 14 条 记 录，以下是 1-10
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐秋霞
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张建宏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束曝光 电子束 电子束光刻 版图 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆晶
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束直写 电子束光刻 光学 微光刻技术 电子束曝光系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李泠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 晶体管 电极 沟道 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龙世兵
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
殷华湘
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 沟道 栅极 衬底 鳍片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李友
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束曝光 超低功耗 非挥发性存储器 降低功耗 电极结构
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张卫红
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：光学光刻技术 下一代 高分辨率 分辨率 光掩模
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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