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李天宇

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：北京大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 4个电子电信
  • 2个电气工程
  • 2个自动化与计算...
  • 1个医药卫生
  • 1个理学

主题

  • 5个等离子体
  • 5个自由基
  • 5个离子刻蚀
  • 5个金属
  • 5个刻蚀
  • 5个刻蚀工艺
  • 5个刻蚀速率
  • 5个各向异性刻蚀
  • 5个干法刻蚀
  • 5个干法刻蚀工艺
  • 5个高密度等离子...
  • 3个电火花
  • 3个对准标记
  • 3个气相沉积
  • 3个微细
  • 3个微细电火花
  • 3个物理气相沉积
  • 2个等离子体刻蚀
  • 2个圆片
  • 2个深刻蚀

机构

  • 5个北京大学

资助

  • 1个国家重点基础...

传媒

  • 1个中国组织工程...
  • 1个微纳电子与智...
  • 1个中国微米纳米...

地区

  • 5个北京市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
李男男
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 衬片 PARYLENE 高密度等离子体 干法刻蚀工艺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张轶铭
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 传声器 衬底 钛 高深宽比
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡佳
供职机构：北京大学
研究主题：边界角 刻蚀 离子 测量方法 高密度等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗进
供职机构：北京大学
研究主题：刻蚀 调度 成形电极 ICP 高密度等离子体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈书慧
供职机构：北京大学
研究主题：高密度等离子体 干法刻蚀工艺 各向异性刻蚀 刻蚀速率 刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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