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曹阳
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12
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H指数:3
供职机构:
河北工业大学
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学信息工程学院微电子...
王辰伟
河北工业大学信息工程学院微电子...
高娇娇
河北工业大学信息工程学院微电子...
蔡婷
河北工业大学信息工程学院微电子...
陈蕊
河北工业大学信息工程学院微电子...
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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高娇娇
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性
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陈蕊
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 铜布线 抛光液 化学机械抛光 阻挡层
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蔡婷
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP TSV 化学机械平坦化 多胺 络合剂
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刘旭
供职机构:河北工业大学
研究主题:混合励磁 间接矩阵变换器 磁阻电机 零电压矢量 共模电压
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刘钠
供职机构:河北工业大学
研究主题:超大规模集成电路 集成电路 抛光 CMP技术 硅片
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马锁辉
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP TSV 阻挡层 化学机械平坦化 多胺
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张楷亮
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
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张宏远
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 抛光速率 HCL 钽 盐酸胍
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