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曹阳

作品数:12 被引量:23H指数:3
供职机构:河北工业大学更多>>
发文基金:国家中长期科技发展规划重大专项国家自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信电气工程金属学及工艺交通运输工程更多>>

领域

  • 15个电子电信
  • 9个金属学及工艺
  • 8个理学
  • 7个化学工程
  • 7个电气工程
  • 7个自动化与计算...
  • 7个一般工业技术
  • 7个文化科学
  • 5个环境科学与工...
  • 3个经济管理
  • 3个机械工程
  • 3个建筑科学
  • 3个交通运输工程
  • 2个哲学宗教
  • 2个生物学
  • 2个社会学
  • 2个语言文字
  • 1个冶金工程
  • 1个动力工程及工...
  • 1个轻工技术与工...

主题

  • 15个机械抛光
  • 14个抛光液
  • 14个化学机械抛光
  • 13个抛光
  • 12个铜布线
  • 12个CMP
  • 11个抛光速率
  • 11个平坦化
  • 11个阻挡层
  • 10个电路
  • 10个多胺
  • 10个化学机械平坦...
  • 8个螯合剂
  • 7个电路工艺
  • 6个单因素
  • 6个电化学
  • 5个单晶
  • 5个单晶硅
  • 5个电池
  • 4个氮化

机构

  • 16个河北工业大学
  • 1个河北师范大学
  • 1个河北工学院
  • 1个天津大学
  • 1个中国科学院
  • 1个天津理工大学
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国科学院研...
  • 1个中国电子科技...
  • 1个中国人民解放...
  • 1个中国人民政治...
  • 1个北京石油化工...

资助

  • 13个河北省自然科...
  • 10个国家中长期科...
  • 9个国家自然科学...
  • 8个天津市自然科...
  • 7个国家科技重大...
  • 6个河北省教育厅...
  • 4个国家教育部博...
  • 4个河北省高等学...
  • 4个天津市科技攻...
  • 3个河北省科技计...
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  • 2个博士科研启动...
  • 2个河北省教育厅...
  • 2个河北省教育厅...
  • 2个天津市重点学...
  • 1个国家高技术研...
  • 1个国家重点基础...

传媒

  • 11个微纳电子技术
  • 10个半导体技术
  • 8个功能材料
  • 8个稀有金属
  • 7个河北工业大学...
  • 5个Journa...
  • 5个电镀与涂饰
  • 5个人工晶体学报
  • 5个微电子学
  • 4个电子器件
  • 4个纳米技术与精...
  • 4个纳米科技
  • 4个第十三届全国...
  • 3个稀有金属材料...
  • 3个天津科技
  • 3个硅酸盐学报
  • 3个高分子材料科...
  • 3个固体电子学研...
  • 3个微细加工技术
  • 3个洗净技术

地区

  • 15个天津市
  • 1个河北省
16 条 记 录,以下是 1-10
刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高娇娇
供职机构:河北工业大学电子信息工程学院
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 化学机械抛光 碱性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈蕊
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 铜布线 抛光液 化学机械抛光 阻挡层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
蔡婷
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP TSV 化学机械平坦化 多胺 络合剂
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘旭
供职机构:河北工业大学
研究主题:混合励磁 间接矩阵变换器 磁阻电机 零电压矢量 共模电压
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘钠
供职机构:河北工业大学
研究主题:超大规模集成电路 集成电路 抛光 CMP技术 硅片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马锁辉
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP TSV 阻挡层 化学机械平坦化 多胺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张楷亮
供职机构:天津理工大学
研究主题:化学机械抛光 抛光液 存储器 叠层结构 抛光速率
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张宏远
供职机构:河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题:CMP 抛光速率 HCL 钽 盐酸胍
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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