2024年11月20日
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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合作作者
林成鲁
中国科学院上海微系统与信息技术...
王连卫
中国科学院上海微系统与信息技术...
黄继颇
中国科学院上海微系统与信息技术...
符晓荣
中国科学院上海冶金研究所上海微...
宋志棠
中国科学院上海微系统与信息技术...
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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王连卫
供职机构:华东师范大学
研究主题:微通道板 硅 多孔硅 微通道 电化学刻蚀
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黄继颇
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:ALN薄膜 氮化铝 离子注入 碳化硅 半导体
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沈勤我
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发
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张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
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范秀强
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 绝缘层上硅 集成电路工艺 模拟开关 微电子领域
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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符晓荣
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
研究主题:氧化镁 喷雾热分解法 喷雾热分解 硅 纳米级
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门传玲
供职机构:上海理工大学能源与动力工程学院
研究主题:碳纳米管 超级电容器 太阳能电池 ALN薄膜 石墨烯
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