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王琴
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106
被引量:59
H指数:5
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
龙世兵
中国科学院微电子研究所纳米加工...
霍宗亮
中国科学院微电子研究所纳米加工...
刘璟
中国科学院微电子研究所纳米加工...
张满红
中国科学院微电子研究所纳米加工...
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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龙世兵
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
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霍宗亮
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 沟道 闪存 介质层 电压
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刘璟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 俘获 电路 电子设备 浮栅
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张满红
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 俘获 浮栅 纳米晶 阻挡层
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陈宝钦
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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李维龙
供职机构:华东电子工程研究所
研究主题:微电子工艺 浮栅 纳米晶 单电子器件 蒸发
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贾锐
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:太阳能电池 太阳电池 背接触 探测器 N型
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王永
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:纳米晶 存储器 硅纳米晶 非挥发性存储器 浮栅
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