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方磊
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供职机构:
中国科学院微电子研究所
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理学
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所
谢常青
中国科学院微电子研究所
朱效立
中国科学院微电子研究所
李冬梅
中国科学院微电子研究所
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李冬梅
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:敏感膜 延迟线 柔性衬底 光刻胶 气体传感器
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朱效立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
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研究领域
刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 电路
发表作品
相关人物
供职机构
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 存储器 衬底
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