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郭育林
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复旦大学
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电子电信
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合作作者
周嘉
复旦大学
黄宜平
复旦大学
鲍敏杭
复旦大学
程正喜
复旦大学
倪敏璐
复旦大学
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周嘉
供职机构:复旦大学
研究主题:液滴 电极 流控技术 MEMS 极板
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黄宜平
供职机构:复旦大学
研究主题:MEMS 传感器 气体传感器 SOI 硅
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鲍敏杭
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅 压力传感器 传感器 微机械 各向异性腐蚀
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许谷城
供职机构:复旦大学
研究主题:硅 光致 形变 微悬臂梁
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程正喜
供职机构:中国科学院上海技术物理研究所
研究主题:衬底 偏转 探测器 镜面 神经元
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倪敏璐
供职机构:复旦大学
研究主题:异质结构材料 GAAS
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竺士炀
供职机构:复旦大学
研究主题:SOI SIMOX 辐照特性 多孔硅 硅
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