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赵永梅
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66
被引量:20
H指数:3
供职机构:
中国科学院半导体研究所
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合作作者
孙国胜
中国科学院半导体研究所
刘兴昉
中国科学院半导体研究所
宁瑾
中国科学院半导体研究所
赵万顺
中国科学院半导体研究所
王雷
中国科学院半导体研究所
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孙国胜
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 4H-SIC SIC
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刘兴昉
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 衬底 外延层 刻蚀 碳化硅材料
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宁瑾
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研究主题:电极 牺牲层 MEMS 4H-SIC 谐振器
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赵万顺
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 外延层 4H-SIC
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王雷
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 3C-SIC 衬底 SIC 4H-SIC
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 纳米尺寸 谐振器
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曾一平
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:分子束外延 衬底 碳化硅 氮化镓 缓冲层
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李晋闽
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:氮化镓 发光二极管 衬底 多量子阱 GAN
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 相变材料 微装配
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韩国威
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:电极 锚点 MEMS 压电层 谐振器
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