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王家畴
作品数:
78
被引量:77
H指数:6
供职机构:
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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自动化与计算机技术
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合作作者
李昕欣
哈尔滨工业大学机电工程学院机器...
孙立宁
哈尔滨工业大学机电工程学院机器...
荣伟彬
哈尔滨工业大学机电工程学院机器...
刘洁丹
中国科学院上海微系统与信息技术...
陈立国
苏州大学
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李昕欣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
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所获资助
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孙立宁
供职机构:苏州大学
研究主题:机器人 压电陶瓷 并联机器人 柔性铰链 微操作
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荣伟彬
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:激光陀螺 微操作 压电陶瓷 微操作机器人 柔性铰链
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刘洁丹
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅片 表面贴装封装 微流量传感器 表面贴装 封装技术
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陈立国
供职机构:苏州大学
研究主题:MEMS 电极 阳极键合 显微视觉 键合
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谢晖
供职机构:哈尔滨工业大学
研究主题:显微镜 MEMS 探针 原子力显微镜 自动调焦
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陈涛
供职机构:苏州大学
研究主题:传感器 夹持器 机器人 夹持 电极
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陈伟
供职机构:深圳职业技术学院
研究主题:机器人 异步电机 骨盆 存储介质 铆接
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张鲲
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:加速度传感器 微机械 压阻 加速度计 微机电系统
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李欣昕
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:硅纳米线 压阻式加速度传感器 微机械 振动频率 深反应离子刻蚀
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