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毋正伟
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25
被引量:52
H指数:5
供职机构:
中国科学院电子学研究所
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合作作者
陈德勇
中国科学院电子学研究所
王军波
中国科学院电子学研究所
陈李
中国科学院电子学研究所
夏善红
中国科学院电子学研究所
彭春荣
中国科学院电子学研究所
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陈德勇
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电化学 谐振梁 谐振式压力传感器 地震检波器 谐振式
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王军波
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电化学 地震检波器 谐振式 电极 谐振式压力传感器
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陈李
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:陀螺 微机械陀螺 振动 电磁式 同频干扰
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夏善红
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 传感器
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彭春荣
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 微型电场传感器 屏蔽电极 电场 电场测量
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杨苗苗
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:阳极键合 加速度传感器 微机电系统 体硅工艺 电容式
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陈健
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电化学 微流控芯片 地震检波器 细胞 电极
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任仁
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:电场传感器 电场 电容耦合 动态心电监测 电极
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史晓晶
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:谐振式压力传感器 微机械 差分检测 MEMS 扩散硅
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刘猛
供职机构:中国科学院电子学研究所
研究主题:封装 金属管 谐振频率 谐振梁 热应力
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