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冯嘉恒
作品数:
11
被引量:15
H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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发文基金:
教育部科学技术研究重点项目
中国科学院知识创新工程重要方向项目
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相关领域:
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合作作者
唐立丹
辽宁工业大学材料科学与工程学院
王冰
辽宁工业大学材料科学与工程学院
夏洋
中国科学院微电子研究所
屈芙蓉
中国科学院微电子研究所
夏洋
中国科学院微电子研究所
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唐立丹
供职机构:辽宁工业大学材料科学与工程学院
研究主题:脉冲电磁场 钙钛矿 太阳能电池 水热法 纳米棒阵列
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供职机构
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王冰
供职机构:辽宁工业大学材料科学与工程学院
研究主题:脉冲电磁场 电脉冲 电脉冲处理 轧制液 电脉冲孕育处理
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体 氧化锌薄膜 SUB 共掺
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所获资助
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屈芙蓉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 前驱体 PIII 薄膜封装 腔体
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万军
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 原子层沉积 化学吸附 含碳 含氮
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夏洋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
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李超波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
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王建中
供职机构:辽宁工业大学
研究主题:脉冲电磁场 电脉冲 电脉冲孕育处理 凝固组织 电脉冲处理
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卢维尔
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:原子层沉积 氧化锌薄膜 共掺 受主 掺杂
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陈波
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:硅衬底 半导体制造技术 基片 化学吸附 前驱体
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