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供职机构:
中国科学院电工研究所
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合作作者
韩立
中国科学院电工研究所
赵慧斌
中国科学院电工研究所
张奇
中国科学院研究生院
王丽娜
中国科学院电工研究所
靳鹏云
中国科学院电工研究所
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韩立
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束 原子力显微镜 扫描探针显微镜 电子束曝光 电流变液
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所获资助
研究领域
王丽娜
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:柔性铰链 磁性物质 传感器 测量方式 压电元件
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张奇
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:传感技术 传感 微悬臂梁 品质因数 修饰技术
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供职机构
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赵慧斌
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:表面电荷 扫描探针显微镜 聚酰亚胺 补偿脉冲发电机 旋转整流器
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靳鹏云
供职机构:中国科学院电工研究所
研究主题:电子束曝光 电子束 图形发生器 SEM 扫描电子显微镜
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