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邢昆山
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中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
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电子电信
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合作作者
林成鲁
中国科学院上海冶金研究所上海微...
邹世昌
中国科学院上海冶金研究所上海微...
多新中
中国科学院上海冶金研究所上海微...
王连卫
中国科学院上海冶金研究所上海微...
方子韦
中国科学院上海冶金研究所上海微...
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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邹世昌
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 离子束 硅 SOI 巨磁电阻
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方子韦
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 硅 SOI结构 AS SIMOX
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倪如山
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SIMOX TEM研究 XTEM SOI材料
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王连卫
供职机构:华东师范大学
研究主题:微通道板 硅 多孔硅 微通道 电化学刻蚀
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范秀强
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 绝缘层上硅 集成电路工艺 模拟开关 微电子领域
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谭松生
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:传感器研究 传感器 SOM 激光再结晶
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陈莉芝
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOM SOI 激光再结晶 离子注入 吸杂
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多新中
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 硅 ALN薄膜 SOI材料
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许学敏
供职机构:中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所
研究主题:传感器研究 传感器 SOM 激光再结晶 退火行为
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