2024年12月27日
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董凤良
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52
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H指数:7
供职机构:
国家纳米科学中心
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国家自然科学基金
国家重点基础研究发展计划
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合作作者
褚卫国
国家纳米科学中心
闫兰琴
国家纳米科学中心
徐丽华
国家纳米科学中心
张青川
中国科学院微电子研究所
伍小平
中国科学院微电子研究所
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褚卫国
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:衬底 高密度等离子体 锂离子电池正极材料 气相沉积 锂
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所获资助
研究领域
闫兰琴
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:衬底 电子束 表面增强拉曼 硅衬底 光刻胶
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所获资助
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徐丽华
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:光刻胶 金属膜 参量 高密度等离子体 旋涂
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供职机构
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研究领域
张青川
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光学读出 微悬臂梁 非制冷红外成像 动态应变时效 焦平面阵列
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研究领域
伍小平
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光学读出 微悬臂梁 非制冷红外成像 焦平面阵列 红外吸收
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宋志伟
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:高密度等离子体 气相沉积 膜材料 不均匀性 反应气体
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陈佩佩
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:衬底 电子束曝光 表面增强拉曼 硅衬底 原子力显微镜
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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郭哲颖
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院中科院材料力学行为和设计重点实验室
研究主题:光学读出 非制冷红外成像 红外成像 微悬臂梁 成像技术
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胡海峰
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:参量 硅衬底 光学常数 介质层 定影
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