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盛壮

作品数：17 被引量：1H指数：1
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

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主题

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机构

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资助

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地区

  • 12个四川省
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  • 1个广东省
共 14 条 记 录，以下是 1-10
李兰兰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 图像探测器 投影物镜 条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡松
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金龙
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 工件台 掩模 节流孔 六自由度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐锋
供职机构：西南科技大学信息工程学院
研究主题：条纹 纳米光刻 图像探测器 光刻 投影光刻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢飞
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：图像探测器 条纹 SIMULINK 衍射 分光镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗正全
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：生物芯片 光刻机 扫描仪 电子束曝光机 DSP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构：华南理工大学
研究主题：纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈旺富
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：纳米光刻 条纹 图像探测器 双光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐峰
供职机构：中国科学院光电技术研究所
研究主题：衍射 掩模 反馈控制 硅片 光刻胶
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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