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李勇

作品数：2 被引量：6H指数：1
供职机构：山东科技大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金：中国科学院知识创新工程重要方向项目国家自然科学基金国家高技术研究发展计划更多>>
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地区

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共 7 条 记 录，以下是 1-7
李惠琪
供职机构：山东科技大学材料科学与工程学院
研究主题：等离子束表面冶金 等离子束 表面冶金 截齿 等离子炬
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
夏洋
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 等离子体浸没离子注入 刻蚀 VDMOS ALD
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘邦武
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：等离子喷涂 SUB 陶瓷涂层 等离子体喷涂 等离子体浸没离子注入
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
万军
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 含氮 原子层沉积 化学吸附 含碳
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
仇洪波
供职机构：山东科技大学
研究主题：原子层沉积 催化剂 ALD 分离膜 互连技术
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李超波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：原子层沉积 氧化锌薄膜 离子注入 等离子体 共掺
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈波
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：硅衬底 半导体制造技术 基片 含氮 化学吸附
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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