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戴文俊
作品数:
35
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供职机构:
上海集成电路研发中心
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相关领域:
文化科学
自动化与计算机技术
电气工程
机械工程
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合作作者
王毅博
上海集成电路研发中心
李佳青
上海集成电路研发中心
黄仁东
上海集成电路研发中心
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王毅博
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:物料输送系统 自动化 晶圆 存储设备 传动皮带
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所获资助
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李佳青
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:物料输送系统 物料输送 物料 输送车 硅片
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供职机构
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黄仁东
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光
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