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张颖

作品数：15 被引量：26H指数：3
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
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共 36 条 记 录，以下是 1-10
焦继伟
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械陀螺 制作方法 MEMS 微机电系统 真空封装
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姜涛
供职机构：同济大学机械与能源工程学院
研究主题：微机械陀螺 弹性梁 相移 陀螺 元胞自动机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王安麟
供职机构：同济大学机械与能源工程学院
研究主题：液力变矩器 微机械陀螺 遗传算法 工程机械 自组织
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金鹏
供职机构：中国科学院研究生院
研究主题：悬臂梁 块结构 X轴 硅微机械陀螺 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宓斌玮
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：真空封装 微机械陀螺 悬臂梁 块结构 MEMS器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
段飞
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 块结构 X轴 硅微机械陀螺 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钱清
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 块结构 X轴 硅微机械陀螺 硅晶圆
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王育才
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：悬臂梁 块结构 各向异性腐蚀 微加速度计 微机械加工
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
颜培力
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：MEMS器件 保护环 孤岛 基板 扩展性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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