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张慧
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6
被引量:12
H指数:2
供职机构:
中国工程物理研究院电子工程研究所
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发文基金:
中国工程物理研究院科技发展基金
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相关领域:
电子电信
机械工程
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合作作者
陈颖慧
中国工程物理研究院电子工程研究...
郑英彬
中国工程物理研究院电子工程研究...
施志贵
中国工程物理研究院电子工程研究...
王旭光
中国工程物理研究院电子工程研究...
屈明山
中国工程物理研究院电子工程研究...
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陈颖慧
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:结构层 微加速度计 微电子机械系统 声表面波滤波器 尺寸控制
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郑英彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:MEMS 微电子机械系统 太赫兹 键合 加速度计
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施志贵
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:硅 微电子机械系统 刻蚀 MEMS 掩膜
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王旭光
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:悬臂梁 极板 键合 超快激光 加速度传感器
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屈明山
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:压敏电阻 加速度传感器 微机械加速度传感器 固有频率 键合
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张照云
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:石英 极板 加速度计 刻蚀 结构层
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刘鑫
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:测试装置 浮体效应 耗尽型 埋氧层 漏电
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唐彬
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 极板 微加速度计 石英 结构层
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席仕伟
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:微电子机械系统 MEMS 飞片 声表面波滤波器 干法刻蚀
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彭勃
供职机构:中国工程物理研究院电子工程研究所
研究主题:加速度计 结构层 掩膜 石英 微加速度计
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