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陈华男
作品数:
36
被引量:25
H指数:3
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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合作作者
倪明阳
中国科学院长春光学精密机械与物...
郭抗
中国科学院长春光学精密机械与物...
隋永新
中国科学院长春光学精密机械与物...
杨怀江
中国科学院长春光学精密机械与物...
李显凌
中国科学院长春光学精密机械与物...
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倪明阳
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 镜框 投影物镜 光刻物镜
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郭抗
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 光刻物镜 轴向 投影光刻物镜
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隋永新
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 光学检测 光学加工
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杨怀江
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 面形 投影物镜 光学检测
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李显凌
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 投影光刻物镜 投影物镜 光刻物镜
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孙振
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 镜框 轴向 投影光刻物镜 透镜
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张巍
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:镜框 光学元件 投影光刻物镜 像差 投影物镜
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彭海峰
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:光学元件 投影光刻物镜 轴向 像差 支撑结构
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王绍治
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:磨头 光学元件 抛光液 光学加工 工件表面
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刘健
供职机构:中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
研究主题:磨头 光学元件 光学加工 抛光 工件表面
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