2024年11月20日
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符晓荣
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6
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H指数:3
供职机构:
中国科学院上海冶金研究所上海微系统与信息技术研究所信息功能材料国家重点实验室
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发文基金:
国家自然科学基金
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合作作者
林成鲁
中国科学院上海冶金研究所上海微...
武光明
北京石油化工学院基础部
多新中
中国科学院上海冶金研究所上海微...
宋志棠
中国科学院上海冶金研究所上海微...
宋世庚
中国科学院新疆物理研究所
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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武光明
供职机构:北京石油化工学院
研究主题:喷雾热分解 喷雾热分解法 性能研究 热分解 光电性能
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多新中
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 硅 ALN薄膜 SOI材料
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宋志棠
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:相变存储器 相变 相变材料 存储器 电阻
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刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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宋世庚
供职机构:中国科学院新疆物理研究所
研究主题:铁电薄膜 SOL-GEL法制备 喷雾热分解法 喷雾热分解 PZT
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王连卫
供职机构:华东师范大学
研究主题:微通道板 硅 多孔硅 微通道 电化学刻蚀
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