2025年1月28日
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盛世杰
作品数:
3
被引量:8
H指数:1
供职机构:
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
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发文基金:
上海市教育委员会重点学科基金
国家教育部博士点基金
国家自然科学基金
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相关领域:
机械工程
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合作作者
侯文玫
上海理工大学光电信息与计算机工...
张运波
上海理工大学光电信息与计算机工...
沈丽艳
上海理工大学光电信息与计算机工...
许琦欣
上海理工大学光电信息与计算机工...
许崎欣
上海理工大学光学与电子信息工程...
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侯文玫
供职机构:上海理工大学
研究主题:外差干涉仪 光干涉 干涉仪 直线度 数字微镜器件
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供职机构
所获资助
研究领域
许崎欣
供职机构:上海理工大学光学与电子信息工程学院
研究主题:共焦显微镜 数字微镜器件 数字微镜
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供职机构
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研究领域
许琦欣
供职机构:上海理工大学光电信息与计算机工程学院
研究主题:数字微镜器件 干涉仪 光刻机 套刻精度 分光镜
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
沈丽艳
供职机构:上海理工大学光电信息与计算机工程学院
研究主题:数字微镜器件 性能分析 三维轮廓测量 调制系统
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
张运波
供职机构:上海理工大学光电信息与计算机工程学院
研究主题:共焦显微镜 数字微镜器件 频分复用 外差干涉仪 三维轮廓测量
发表作品
相关人物
供职机构
所获资助
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