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林钢

作品数：6 被引量：2H指数：1
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合作作者

领域

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  • 1个一般工业技术
  • 1个文化科学
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主题

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  • 1个中国科学院微...
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资助

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地区

  • 3个北京市
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徐秋霞
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
钟兴华
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：SOI CMP 光刻胶 金属栅 平坦化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周华杰
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：金属栅 鳍片 自顶向下 沟道效应 硅化
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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