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彭良强

作品数：62 被引量：113H指数：6
供职机构：中国科学院更多>>
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伊福廷
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 光刻 LIGA 微细加工 光刻胶
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张菊芳
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 微细加工 LIGA 掩模 X射线光刻
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韩勇
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 掩模 微细加工 LIGA BSRF
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黄军容
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：LIGA技术 PMMA 微细加工 微细电火花加工 电火花加工
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巨新
供职机构：北京科技大学应用科学学院物理系
研究主题：团簇 CLAM钢 团簇离子 EXAFS 纳米
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张天保
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：正电子湮没 正电子 电子偶素 时间分辨率 闪烁体
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张院春
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：电火花加工 微细加工 电铸 微细电火花加工 微细
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魏龙
供职机构：中国科学院高能物理研究所
研究主题：正电子湮没 探测器 正电子 闪烁体 光子
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叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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