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吴俊
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供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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合作作者
周常河
中国科学院上海光学精密机械研究...
曹红超
中国科学院上海光学精密机械研究...
李树斌
中国科学院上海光学精密机械研究...
余俊杰
中国科学院上海光学精密机械研究...
刘昆
中国科学院上海光学精密机械研究...
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周常河
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅 达曼光栅 电子束直写 衍射效率 位相
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曹红超
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅 光栅周期 电子束直写 衍射效率 达曼光栅
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李树斌
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅 垂直入射 电子束直写 光栅周期 衍射效率
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余俊杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:达曼光栅 涡旋 光栅 光栅干涉仪 焦深
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朱锋
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅 达曼光栅 激光直写 电子束直写 垂直入射
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刘昆
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:达曼光栅 垂直入射 衍射效率 光栅周期 电子束直写
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孙文婷
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:电子束直写 透射 垂直入射 光栅周期 光栅
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卢炎聪
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光栅干涉仪 光栅 数据采集和处理 垂直入射 衍射效率
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黄巍
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:达曼光栅 传输线 形态学分析 光栅 激光直写
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