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马刘红
作品数:
11
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供职机构:
中国科学院半导体研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
杨富华
中国科学院半导体研究所
韩伟华
中国科学院半导体研究所
付英春
中国科学院半导体研究所
王晓东
中国科学院半导体研究所
周亚玲
中国科学院半导体研究所
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杨富华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 电极 谐振器 纳米尺寸
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付英春
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:相变存储器 自对准 相变材料 干法刻蚀 淀积
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韩伟华
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:硅基 晶体管 纳米线 硅纳米线 硅衬底
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王昊
供职机构:中国科学院半导体研究所
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杨香
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:碳化硅 硅基 刻蚀 相变存储器 沟槽
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周亚玲
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:相变存储器 自对准 局域化 相变材料 旋涂
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王晓东
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:淀积 相变存储器 纳米尺寸 微装配 刻蚀
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洪文婷
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:纳米线 硅基 晶体管 电极 晶面
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杨晓光
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:纳米线 硅基 量子点 太阳电池 激光器
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吕奇峰
供职机构:中国科学院半导体研究所
研究主题:纳米线 电极 晶体管 SOI衬底 源区
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