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赵利俊
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7
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H指数:2
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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合作作者
韦亚一
中国科学院微电子研究所
欧文
中国科学院微电子研究所
夏燕
中北大学电子与计算机科学技术学...
薛晨阳
中北大学电子与计算机科学技术学...
张利斌
中国科学院微电子研究所
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韦亚一
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 掩模 版图 光源 刻蚀
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欧文
供职机构:中北大学
研究主题:热电堆 MEMS 红外 热电偶 工区
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夏燕
供职机构:中北大学电子与计算机科学技术学院电子测试技术国家重点实验室
研究主题:MEMS 红外 热电堆 兼容性 CMOS工艺兼容
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薛晨阳
供职机构:中北大学
研究主题:矢量水听器 MEMS 电极 水听器 心音
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粟雅娟
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 版图 石墨烯 掺杂 衬底
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董立松
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 矢量 掩模 成像模型 光源
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张利斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻 掩模 光源 线条 套刻
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闫建华
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:微透镜阵列 红外焦平面阵列 光敏 填充因子 红外焦平面
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袁锋
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 红外 兼容性 热电堆
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明安杰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 红外光源 图形化 金属电极 光开关
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