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谢欣云
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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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林成鲁
中国科学院上海微系统与信息技术...
林青
中国科学院上海微系统与信息技术...
门传玲
中国科学院上海微系统与信息技术...
刘卫丽
中国科学院上海微系统与信息技术...
张苗
中国科学院上海微系统与信息技术...
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林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
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林青
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI新结构 SOI SOI器件 氮化硅薄膜 自加热效应
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门传玲
供职机构:上海理工大学能源与动力工程学院
研究主题:碳纳米管 超级电容器 太阳能电池 ALN薄膜 石墨烯
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刘卫丽
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研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
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沈勤我
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发
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张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
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安正华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:绝缘层上硅 衬底材料 锗硅 氮化铝 绝缘埋层
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朱鸣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:浮体效应 SOI器件 固体电子学 自加热效应 SOI
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徐安怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:INP DHBT 磷化铟 异质结双极晶体管 气态源分子束外延
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刘相华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 MOS器件 氧离子 EFFECTS
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