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谢欣云

作品数:9 被引量:18H指数:3
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金:国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金上海市青年科技启明星计划更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术自动化与计算机技术更多>>

领域

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  • 1个核科学技术
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主题

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  • 8个离子
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  • 7个锗硅
  • 6个氮化硅
  • 6个氮化硅薄膜
  • 6个电子束蒸发
  • 6个栅介质
  • 5个单晶
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  • 5个电路工艺
  • 5个电子领域
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机构

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资助

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传媒

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地区

  • 10个上海市
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11 条 记 录,以下是 1-10
林成鲁
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:离子注入 SOI 硅 SIMOX 铁电薄膜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
林青
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI新结构 SOI SOI器件 氮化硅薄膜 自加热效应
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
门传玲
供职机构:上海理工大学能源与动力工程学院
研究主题:碳纳米管 超级电容器 太阳能电池 ALN薄膜 石墨烯
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘卫丽
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:化学机械抛光 抛光液 相变存储器 相变材料 抛光
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈勤我
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:巨磁电阻效应 巨磁电阻 过渡层 多孔硅 电子束蒸发
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张苗
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:石墨烯 绝缘体 衬底 离子注入 弛豫
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
安正华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:绝缘层上硅 衬底材料 锗硅 氮化铝 绝缘埋层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
朱鸣
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:浮体效应 SOI器件 固体电子学 自加热效应 SOI
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
徐安怀
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:INP DHBT 磷化铟 异质结双极晶体管 气态源分子束外延
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
刘相华
供职机构:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题:SOI 离子注入 MOS器件 氧离子 EFFECTS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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