2024年12月25日
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牛新环
作品数:
126
被引量:320
H指数:9
供职机构:
河北工业大学
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河北省自然科学基金
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
金属学及工艺
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合作作者
刘玉岭
河北工业大学电子信息工程学院
檀柏梅
河北工业大学电子信息工程学院
王辰伟
河北工业大学电子信息工程学院
王如
河北工业大学电子信息工程学院
高宝红
河北工业大学电子信息工程学院
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刘玉岭
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 去除速率 ULSI
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檀柏梅
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 抛光液 ULSI 超大规模集成电路
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王辰伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 阻挡层 抛光液 碱性抛光液 化学机械抛光
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王如
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 化学机械抛光 SM 磁性能 生物医学材料
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高宝红
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 铜布线 阻挡层
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孙鸣
供职机构:河北工业大学
研究主题:抛光液 CMP 化学机械抛光 碱性抛光液 去除速率
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张维连
供职机构:河北工业大学材料科学与工程学院
研究主题:CZSI 掺锗 直拉硅 退火 锗
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王娟
供职机构:河北工业大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 硅溶胶 抛光液 超大规模集成电路
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蒋中伟
供职机构:河北工业大学
研究主题:掺锗 直拉法 CZSI SIGE合金 热导率
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所获资助
研究领域
王胜利
供职机构:河北工业大学
研究主题:CMP 化学机械抛光 抛光液 螯合剂 去除速率
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