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贾佳
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35
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中国科学院微电子研究所
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合作作者
刘明
中国科学院微电子研究所纳米加工...
谢长青
中国科学院微电子研究所
谢常青
中国科学院微电子研究所纳米加工...
朱效立
中国科学院微电子研究所纳米加工...
潘一鸣
中国科学院微电子研究所纳米加工...
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刘明
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
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谢长青
供职机构:中国工程物理研究院激光聚变研究中心
研究主题:位相 透明介质 菲涅耳 波带片 衍射
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谢常青
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 X射线光刻 敏感膜 光刻 存储器
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潘一鸣
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:成像分辨率 衍射光学元件 普通玻璃 数值孔径 熔融石英
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朱效立
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:电子束光刻 电子束直写 衍射效率 衍射光学元件 衬底
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陈军宁
供职机构:安徽大学
研究主题:反相器 灵敏放大器 电路 SRAM 裕度
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姜骥
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:光刻机 纳米压印光刻 纳米压印 螺孔 螺杆
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李亚文
供职机构:中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题:超分辨 波带片 衍射光学 旁瓣抑制 X射线光刻
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吴秀龙
供职机构:安徽大学
研究主题:电路 戏剧活动 资讯 芯片 反相器
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万青松
供职机构:安徽大学
研究主题:二元光学 光束整形 位相 阵列
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