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朱宝
作品数:
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供职机构:
复旦大学
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国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
丁士进
复旦大学微电子研究院
张卫
复旦大学微电子研究院
刘文军
复旦大学
王永平
复旦大学
张秋香
复旦大学
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丁士进
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
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张卫
供职机构:复旦大学
研究主题:原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
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刘文军
供职机构:复旦大学
研究主题:薄膜晶体管 选通 横线 掉电 电阻率
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王永平
供职机构:复旦大学
研究主题:等离子体 互连工艺 阻挡层 电阻率 磁控溅射沉积
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张秋香
供职机构:复旦大学
研究主题:混合集成电路 铜互连 低K材料 原子层淀积 半导体集成
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丁子君
供职机构:复旦大学
研究主题:前驱体 超低介电常数 超大规模集成电路 电场强度 氧杂
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陈红兵
供职机构:复旦大学
研究主题:金属纳米晶 原子层淀积 存储器 阳极氧化铝模板 阳极氧化铝
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孙清清
供职机构:复旦大学
研究主题:电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
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陈笋
供职机构:复旦大学
研究主题:电荷 存储器 薄膜晶体管 金属纳米晶 原子层淀积
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李连杰
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:快速热退火 重掺杂
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