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曾绍海
作品数:
89
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H指数:1
供职机构:
上海集成电路研发中心
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发文基金:
国家科技重大专项
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相关领域:
电子电信
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自动化与计算机技术
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合作作者
李铭
上海集成电路研发中心
左青云
上海集成电路研发中心
康晓旭
上海集成电路研发中心
黄仁东
上海集成电路研发中心
易春艳
上海集成电路研发中心
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上海市
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李铭
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:淀积 光刻 刻蚀 衬底 介质层
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供职机构
所获资助
研究领域
左青云
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:衬底 淀积 空气隙 介质层 存储器
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
黄仁东
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:刻蚀 金属栅 金属 淀积 抛光
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
康晓旭
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:像元 红外探测器 衬底 牺牲层 微桥结构
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易春艳
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:图形化 晶体管 鱼鳍 掩膜 光刻
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供职机构
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王全
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:硅衬底 硅纳米线 刻蚀 自顶向下 图形化
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王伟军
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:刻蚀 形貌 刻蚀工艺 图形化 空气隙
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张伟
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:衬垫 半导体芯片 机械手 控制方法 晶圆
发表作品
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供职机构
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林宏
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:空气隙 填充金属 铜互连 硅片 金属互连线
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供职机构
所获资助
研究领域
王俊丰
供职机构:上海集成电路研发中心
研究主题:传输系统 触发开关 工业化 堆叠 输送车
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相关人物
供职机构
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