2024年12月27日
星期五
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谢书银
作品数:
19
被引量:39
H指数:4
供职机构:
中南大学
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发文基金:
国家重点实验室开放基金
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相关领域:
电子电信
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理学
电气工程
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合作作者
石志仪
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
张锦心
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
李立本
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
万关良
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
蔡爱军
浙江大学材料科学与工程学系硅材...
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教育部“优秀...
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石志仪
供职机构:中南工业大学应用物理与热能工程系
研究主题:硅片 抗弯强度 机械强度 直拉硅 半导体器件
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张锦心
供职机构:浙江大学材料科学与工程学系硅材料国家重点实验室
研究主题:硅 硅片 含氮 氮含量 直拉硅单晶
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李立本
供职机构:浙江大学
研究主题:硅单晶 直拉硅单晶 直拉硅 硅 氧沉淀
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李冀东
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅 硅片 抗弯强度 硅材料 扩展电阻探针
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相关人物
供职机构
所获资助
研究领域
蔡爱军
供职机构:中南工业大学应用物理与热能工程系
研究主题:硅片 抗弯强度 氧 氮磷 高温形变
发表作品
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所获资助
研究领域
万关良
供职机构:北京有色金属研究总院
研究主题:硅片 硅单晶 直拉硅单晶 电阻率 氧
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供职机构
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佘思明
供职机构:中南工业大学应用物理与热能工程系
研究主题:硅 直拉硅 氮 半导体材料 单晶硅
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王丙义
供职机构:中南工业大学应用物理与热能工程系
研究主题:氧 氮磷 高温形变 硅片 杂质对
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余思明
供职机构:中南工业大学应用物理与热能工程系
研究主题:氧 硅 氧沉淀 碳 复合物
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研究领域
张维连
供职机构:河北工业大学材料科学与工程学院
研究主题:CZSI 掺锗 直拉硅 退火 锗
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