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王润文
作品数:
110
被引量:204
H指数:8
供职机构:
中国科学院上海光学精密机械研究所
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
电子电信
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合作作者
程兆谷
中国科学院上海光学精密机械研究...
查鸿逵
中国科学院上海光学精密机械研究...
魏在福
中国科学院上海光学精密机械研究...
路敦武
中国科学院上海光学精密机械研究...
范正修
中国科学院上海光学精密机械研究...
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程兆谷
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:CO_2激光 脉冲预电离 二氧化碳激光器 横流二氧化碳激光器 散射光
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查鸿逵
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:气体激光器 CO_2激光 激光器 放电回路 脉冲预电离
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魏在福
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:非稳腔 环形非稳腔 光束质量 激光器 气体激光器
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供职机构
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路敦武
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻 光学 敏感区 散射光 信噪比
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研究领域
陶永祥
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:铜蒸气激光器 激光器 铜蒸气 高功率 大口径
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所获资助
研究领域
黄惠杰
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光刻机 起偏器 光刻 照明系统 测量方法
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供职机构
所获资助
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范正修
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光学薄膜 激光损伤阈值 激光损伤 多层膜 薄膜光学
发表作品
相关人物
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研究领域
邵建达
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:光学薄膜 激光损伤阈值 激光损伤 光学元件 面形
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易葵
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:镀膜 多层膜 激光损伤 色散 镀膜机
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所获资助
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沈蓓军
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:微机械 光刻 微细加工 LIGA 准分子激光
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