2025年3月25日
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徐锋
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32
被引量:33
H指数:3
供职机构:
西南科技大学信息工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
国家高技术研究发展计划
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相关领域:
自动化与计算机技术
机械工程
理学
电子电信
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合作作者
胡松
中国科学院光电技术研究所
周绍林
中国科学院研究生院
陈旺富
中国科学院光电技术研究所
李金龙
中国科学院研究生院
谢飞
中国科学院研究生院
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胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
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周绍林
供职机构:华南理工大学
研究主题:纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
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陈旺富
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:纳米光刻 条纹 图像探测器 双光栅 成像系统
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所获资助
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李金龙
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 掩模 节流孔 六自由度
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所获资助
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谢飞
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:图像探测器 条纹 SIMULINK 衍射 分光镜
发表作品
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盛壮
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 图像探测器 条纹 工件台 投影光刻机
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李兰兰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 图像探测器 投影物镜 条纹
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罗正全
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 电子束曝光机 DSP
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赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
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所获资助
研究领域
严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
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