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徐锋

作品数:32 被引量:33H指数:3
供职机构:西南科技大学信息工程学院更多>>
发文基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划博士科研启动基金更多>>
相关领域:自动化与计算机技术机械工程理学电子电信更多>>

领域

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  • 22个电子电信
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主题

  • 21个图像
  • 20个光刻
  • 19个掩模
  • 19个条纹
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  • 9个电子束曝光
  • 9个电子束曝光机
  • 9个调制
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  • 8个电路控制

机构

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  • 11个中国科学院研...
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  • 2个中国科学院大...
  • 1个北京科技大学
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  • 1个湖南科技大学
  • 1个武汉工业大学
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  • 1个重庆大学
  • 1个中国工程物理...

资助

  • 22个国家自然科学...
  • 18个国家高技术研...
  • 6个国家重点基础...
  • 6个国家科技重大...
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  • 5个四川省教育厅...
  • 4个四川省科技支...
  • 4个成都市科技攻...
  • 4个中国科学院西...
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传媒

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  • 4个现代电子技术
  • 4个第十二届全国...
  • 4个第十一届全国...

地区

  • 22个四川省
  • 1个河南省
  • 1个江苏省
  • 1个西藏
  • 1个广东省
26 条 记 录,以下是 1-10
胡松
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 光刻 掩模 生物芯片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
周绍林
供职机构:华南理工大学
研究主题:纳米光刻 条纹 光固化 光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈旺富
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:纳米光刻 条纹 图像探测器 双光栅 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李金龙
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 掩模 节流孔 六自由度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢飞
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:图像探测器 条纹 SIMULINK 衍射 分光镜
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
盛壮
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 图像探测器 条纹 工件台 投影光刻机
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李兰兰
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 工件台 图像探测器 投影物镜 条纹
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
罗正全
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 光刻机 扫描仪 电子束曝光机 DSP
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵立新
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻机 掩模 工件台 调制度 镜片
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
严伟
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:生物芯片 工件台 光刻 纳米光刻 成像系统
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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