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陈旭南

作品数:175 被引量:167H指数:7
供职机构:中国科学院光电技术研究所更多>>
发文基金:中国科学院知识创新工程国家重点实验室开放基金国家自然科学基金更多>>
相关领域:电子电信理学机械工程一般工业技术更多>>

领域

  • 60个电子电信
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  • 3个核科学技术

主题

  • 51个光刻
  • 40个光学
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  • 37个掩模
  • 32个物镜
  • 30个纳米
  • 30个光刻机
  • 29个光束
  • 27个透镜
  • 27个光刻技术
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  • 26个图像
  • 25个计算机
  • 24个等离子体
  • 24个离轴
  • 23个纳米光刻
  • 21个电路
  • 21个衍射极限
  • 21个照明

机构

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  • 1个辽宁工程技术...
  • 1个南京理工大学
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  • 1个《光电工程》...
  • 1个中国科学院重...
  • 1个中国科学院大...

资助

  • 38个国家自然科学...
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  • 17个中国科学院知...
  • 16个国家高技术研...
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  • 4个国家杰出青年...
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  • 3个“八五”国家...

传媒

  • 45个光电工程
  • 29个微细加工技术
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  • 22个光子学报
  • 21个光学学报
  • 18个第十一届全国...
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  • 9个应用光学
  • 8个半导体光电
  • 7个物理
  • 7个第十二届全国...

地区

  • 57个四川省
  • 8个安徽省
  • 1个辽宁省
  • 1个重庆市
67 条 记 录,以下是 1-10
罗先刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻 超分辨 掩模 表面等离子体 金属
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
姚汉民
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:光刻分辨力 投影光刻物镜 原子束 光刻 光子晶体
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
石建平
供职机构:安徽师范大学
研究主题:原子束 光子晶体 光刻分辨力 金属薄膜 纳米结构制作
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈献忠
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:原子束 纳米结构制作 原子光刻 原子 激光驻波场
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李展
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:原子束 星敏感器 微细图形 原子光刻 遮光罩
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈元培
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:原子束 原子光刻 激光驻波场 相机 原子光学
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李海颖
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:测试装置 表面等离子体 分子器件 激光功率 单色仪
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
胡承刚
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:湿法腐蚀 光刻 压模 表面等离子体 衍射
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高洪涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:医疗美容 杂光 人体皮肤 原子束 皮肤
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
秦涛
供职机构:中国科学院光电技术研究所
研究主题:导模共振 防伪 光栅 光子禁带 微细图形
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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