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陆松涛

作品数：5 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺更多>>

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共 9 条 记 录，以下是 1-9
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴紫阳
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：光刻胶 悬架 光刻 胶膜 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆荣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金 亚微米 电化学腐蚀 原电池 干法刻蚀
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
俞正寅
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微泵 传感器件 高深宽比 感应耦合等离子体 硅衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：空间电荷区 电极 纳米 衬底 场效应晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
庞洁
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：吸合时间 悬臂梁 块结构 加速度传感器 锚点
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
沈时强
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：封装 微机电系统 微电铸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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