2024年11月9日
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谭晶晶
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供职机构:
复旦大学
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发文基金:
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相关领域:
电子电信
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合作作者
谢琦
复旦大学信息科学与工程学院微电...
屈新萍
复旦大学信息科学与工程学院微电...
茹国平
复旦大学信息科学与工程学院微电...
蒋玉龙
复旦大学信息科学与工程学院微电...
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屈新萍
供职机构:复旦大学
研究主题:微电子 固相反应 扩散阻挡层 NISI 纳米压印技术
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谢琦
供职机构:复旦大学
研究主题:扩散阻挡层 铜互连 铜 微电子 集成电路
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茹国平
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:固相反应 NISI 微电子 SI 金属栅
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周觅
供职机构:复旦大学
研究主题:钌 TAN 扩散阻挡层 籽晶 铜互连
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蒋玉龙
供职机构:复旦大学微电子研究院
研究主题:NISI 固相反应 硅化物 课堂 超浅结
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李炳宗
供职机构:复旦大学
研究主题:固相反应 硅化物 自对准 NISI SI
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陈韬
供职机构:复旦大学
研究主题:氧化锌纳米棒 微电子 场效应晶体管 阳极氧化铝模板 旋涂
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