2024年12月27日
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段志辉
作品数:
19
被引量:38
H指数:4
供职机构:
中国科学技术大学
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发文基金:
国家自然科学基金
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合作作者
张青川
中国科学技术大学工程科学学院近...
伍小平
中国科学技术大学工程科学学院近...
潘亮
中国科学技术大学工程科学学院近...
陈大鹏
中国科学院微电子研究所
王玮冰
中国科学院微电子研究所
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张青川
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光学读出 微悬臂梁 非制冷红外成像 动态应变时效 焦平面阵列
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供职机构
所获资助
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伍小平
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:光学读出 微悬臂梁 非制冷红外成像 焦平面阵列 红外吸收
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潘亮
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:工程应用 抗振 热变形 测量方式 光学
发表作品
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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王玮冰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 自测试 压阻传感器 红外光源 压阻
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王玮兵
供职机构:中国科学技术大学
研究主题:侧向支撑 硅 红外信号 红外吸收 热变形
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郭哲颖
供职机构:中国科学技术大学工程科学学院中科院材料力学行为和设计重点实验室
研究主题:光学读出 非制冷红外成像 红外成像 微悬臂梁 成像技术
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董凤良
供职机构:国家纳米科学中心
研究主题:光学读出 非制冷红外成像 偏振片 焦平面阵列 电子束曝光
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所获资助
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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