您的位置： 专家智库 > >

廖忠伟

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室更多>>
发文基金：国家高技术研究发展计划教育部“新世纪优秀人才支持计划”教育部科学技术研究重点项目更多>>
相关领域：一般工业技术自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

领域

  • 5个电子电信
  • 5个一般工业技术
  • 4个自动化与计算...
  • 3个金属学及工艺
  • 3个机械工程
  • 3个电气工程
  • 3个文化科学
  • 2个化学工程
  • 2个矿业工程
  • 2个轻工技术与工...
  • 2个交通运输工程
  • 2个医药卫生
  • 2个理学
  • 1个经济管理
  • 1个建筑科学
  • 1个环境科学与工...
  • 1个政治法律

主题

  • 5个淀积
  • 5个叠层
  • 5个氧化层
  • 5个氧化层厚度
  • 5个原子层淀积
  • 5个隧穿
  • 5个退火
  • 5个热退火
  • 5个纳米
  • 5个纳米晶
  • 5个金属
  • 5个金属材料
  • 5个快速热退火
  • 4个导电
  • 3个单晶
  • 3个单晶硅
  • 3个单晶硅片
  • 3个氮化
  • 3个氮化钛
  • 2个单分子

机构

  • 5个复旦大学
  • 1个北京理工大学
  • 1个同济大学
  • 1个上海大学
  • 1个中国人民解放...

资助

  • 5个国家高技术研...
  • 5个教育部科学技...
  • 5个教育部“新世...
  • 3个国家自然科学...
  • 3个国家科技重大...
  • 2个高等学校骨干...
  • 2个教育部高等学...
  • 2个上海市浦江人...
  • 1个国家重点基础...
  • 1个中国博士后科...
  • 1个高等学校特色...
  • 1个国家教育部博...
  • 1个国家重点实验...
  • 1个上海-AM基...
  • 1个上海市科学技...

传媒

  • 5个物理学报
  • 5个材料研究学报
  • 5个第十六届全国...
  • 3个半导体技术
  • 3个Journa...
  • 3个复旦学报（自...
  • 3个红外与毫米波...
  • 3个功能材料与器...
  • 3个固体电子学研...
  • 2个稀土
  • 2个金属学报
  • 2个无机化学学报
  • 2个上海交通大学...
  • 2个无机材料学报
  • 2个化学研究与应...
  • 2个功能材料
  • 2个高技术通讯
  • 2个发光学报
  • 2个光谱学与光谱...
  • 2个微电子学

地区

  • 5个上海市
共 5 条 记 录，以下是 1-5
张卫
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 存储器 晶体管 电极 隧穿
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁士进
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 低介电常数 电荷 铜互连 快速热退火
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
苟鸿雁
供职机构：复旦大学
研究主题：原子层淀积 纳米晶 叠层结构 高介电常数 俘获
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
黄玥
供职机构：复旦大学信息科学与工程学院专用集成电路与系统国家重点实验室
研究主题：AL 原子层淀积 MOS HFO 氧化层厚度
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
孙清清
供职机构：复旦大学
研究主题：电极 存储器 原子层淀积 底电极 晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
全选 清除 导出
共1页<1>
聚类工具0