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吴紫阳

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

领域

  • 8个电子电信
  • 8个自动化与计算...
  • 5个金属学及工艺
  • 4个一般工业技术
  • 3个化学工程
  • 3个机械工程
  • 3个交通运输工程
  • 3个航空宇航科学...
  • 3个文化科学
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  • 2个建筑科学
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  • 1个经济管理
  • 1个轻工技术与工...
  • 1个环境科学与工...
  • 1个核科学技术

主题

  • 8个纳米
  • 7个压阻
  • 7个空间电荷区
  • 7个衬底
  • 6个电极
  • 6个电容耦合
  • 6个压焊
  • 6个掩模
  • 6个阵列
  • 6个阵列结构
  • 6个自对准
  • 6个各向异性
  • 6个硅衬底
  • 5个电池
  • 5个压阻检测
  • 5个应力
  • 5个应力释放
  • 5个质量传感器
  • 5个谐振器
  • 3个原电池

机构

  • 8个中国科学院
  • 4个中国科学院研...
  • 2个复旦大学
  • 2个上海交通大学
  • 2个中科院上海微...
  • 1个哈尔滨工业大...
  • 1个国防科学技术...
  • 1个苏州大学
  • 1个浙江大学
  • 1个沈阳仪器仪表...
  • 1个中国科学院上...

资助

  • 4个国家高技术研...
  • 4个国家重点基础...
  • 4个国家自然科学...
  • 3个国家科技重大...
  • 3个国家重点实验...
  • 2个上海市科委纳...
  • 2个上海市科学技...
  • 2个国家杰出青年...
  • 2个“九五”国家...
  • 2个上海市科学技...
  • 2个中国科学院战...
  • 2个中国科学院知...
  • 1个福建省自然科...
  • 1个高等学校骨干...
  • 1个教育部“优秀...
  • 1个教育部科学技...
  • 1个浙江省教育厅...
  • 1个浙江省自然科...
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  • 1个福建省教育厅...

传媒

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  • 4个Journa...
  • 3个传感器技术
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  • 2个中国科学（E...

地区

  • 8个上海市
共 8 条 记 录，以下是 1-8
杨恒
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 纳米 各向异性腐蚀 微机械 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李昕欣
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：悬臂梁 硅 传感器 硅片 压阻
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王跃林
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：微机械 各向异性腐蚀 硅 制作方法 键合
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
戴斌
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：空间电荷区 电极 纳米 衬底 场效应晶体管
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
吴燕红
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：硅 电极 应力传感器 空间电荷区 多晶硅
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
丁萃
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：衬底 掩模 硅衬底 各向异性 空间电荷区
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陆松涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：金 悬架 光刻胶 光刻 互连
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
成海涛
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：纳米 MOS电容 空间电荷区 电极 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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