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陆晶

作品数：3 被引量：7H指数：2
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
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共 9 条 记 录，以下是 1-9
刘明
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 衬底 电子束光刻 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈宝钦
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：电子束光刻 电子束直写 电子束曝光 抗蚀剂 电子束
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
李泠
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 晶体管 电极 沟道 介质层
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
龙世兵
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：存储器 电极 浮栅 非挥发性 电子束直写
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
王云翔
供职机构：中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成重点实验室
研究主题：移相掩模技术 移相掩模 分辨率 光刻 交替式
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
康晓辉
供职机构：中国科学院
研究主题：掩模制作 铬 集成电路
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
叶甜春
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
谢常青
供职机构：中国科学院
研究主题：LPCVD 掩模制作 铬 X射线光刻掩模 X射线
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
陈大鹏
供职机构：中国科学院微电子研究所
研究主题：半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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