2024年12月28日
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路新春
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H指数:11
供职机构:
清华大学
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相关领域:
机械工程
金属学及工艺
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合作作者
雒建斌
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
何永勇
清华大学机械工程学院精密仪器与...
王同庆
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
赵德文
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
沈攀
清华大学机械工程学院摩擦学国家...
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材料工程
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功能材料
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雒建斌
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 润滑 薄膜润滑 抛光液 纳米级
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相关人物
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何永勇
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 故障诊断 化学机械抛光 抛光液 旋转机械
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王同庆
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 晶圆 CMP 抛光液 抛光垫
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所获资助
研究领域
赵德文
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 解析解 晶圆 基板 拉拔
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沈攀
供职机构:清华大学
研究主题:晶圆 修整器 化学机械抛光 机械手 修整
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赵乾
供职机构:清华大学
研究主题:电极 隐身 晶圆 图像增强 涡流传感器
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潘国顺
供职机构:清华大学
研究主题:抛光 化学机械抛光 抛光液 去除速率 磨粒
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温诗铸
供职机构:清华大学
研究主题:润滑 薄膜润滑 润滑剂 弹流润滑 摩擦学
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孟永钢
供职机构:清华大学
研究主题:电流变液 隐身 气体润滑 金属 脱附
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门延武
供职机构:清华大学
研究主题:化学机械抛光 CMP 压力源 晶圆 半导体制造技术
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