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梁秀琴

作品数：8 被引量：5H指数：2
供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
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合作作者

领域

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地区

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共 20 条 记 录，以下是 1-10
杨富华
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：淀积 相变存储器 电极 谐振器 纳米尺寸
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
白云霞
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：干法刻蚀 自对准 电子束曝光 可调谐光滤波器 移植性
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
付英春
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：相变存储器 自对准 相变材料 干法刻蚀 淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
张加勇
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：纳米尺寸 相变存储器 淀积 干法刻蚀 相变材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
季安
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：湿法腐蚀 MEMS压力传感器 干法刻蚀 自对准 淀积
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
马慧莉
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：相变存储器 相变材料 淀积 纳米尺寸 抛光表面
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
赵永梅
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：碳化硅 3C-SIC 衬底 刻蚀 碳化硅材料
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
杨健
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：MEMS陀螺仪 压电材料 压电 旋涂 检测电极
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
高文钰
供职机构：北京大学信息科学技术学院微电子研究院
研究主题：SIO MOSFET 电离辐射 栅介质 MOS器件
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
宁瑾
供职机构：中国科学院半导体研究所
研究主题：电极 牺牲层 锚点 MEMS 4H-SIC
发表作品相关人物供职机构所获资助研究领域
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