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张丽娟
作品数:
3
被引量:10
H指数:2
供职机构:
沈阳工业大学信息科学与工程学院
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相关领域:
电子电信
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合作作者
孙承松
沈阳工业大学信息科学与工程学院
陈桂梅
东北微电子研究所
王芳
东北微电子研究所
蔡震
东北微电子研究所
李新
沈阳工业大学信息科学与工程学院
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孙承松
供职机构:沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题:溅射 硅 INSB薄膜 传感器 气敏元件
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所获资助
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陈桂梅
供职机构:东北微电子研究所
研究主题:NI-CR CMOS电路 电离辐射 磁控溅射 薄膜电阻
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蔡震
供职机构:东北微电子研究所
研究主题:磁控溅射 NI-CR 薄膜电阻 高稳定 传感
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李新
供职机构:沈阳工业大学信息科学与工程学院
研究主题:压力传感器 压力敏感芯片 微全分析系统 集成化 SOI
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袁凯
供职机构:东北微电子研究所
研究主题:扫描电子显微镜 集成电路 微机 SEM 乘法器
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王芳
供职机构:东北微电子研究所
研究主题:磁控溅射 NI-CR 薄膜电阻 高稳定 厚度传感器
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