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尚海平
作品数:
54
被引量:2
H指数:1
供职机构:
中国科学院微电子研究所
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
化学工程
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合作作者
陈大鹏
中国科学院微电子研究所
王玮冰
中国科学院微电子研究所
刘瑞文
中国科学院微电子研究所
焦斌斌
中国科学院微电子研究所
李志刚
中国科学院微电子研究所
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王玮冰
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:MEMS 自测试 压阻传感器 红外光源 压阻
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陈大鹏
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:半导体器件 刻蚀 沟道 焦平面阵列 MEMS
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刘瑞文
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:芯片 非制冷红外成像 平面阵列 红外成像 散热
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研究领域
焦斌斌
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:平面阵列 非制冷红外成像 焦平面阵列 芯片 红外成像
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李志刚
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属 冗余 淀积 集成电路版图 版图设计
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王英辉
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:键合 衬底 压阻 压力传感器 半导体器件
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高超群
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:气敏传感器 红外光 非制冷红外成像 谱式 二氧化碳
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叶甜春
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:X射线光刻 沟道 半导体器件 版图 衬底
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徐秋霞
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:金属栅 半导体器件 刻蚀 沟道 堆叠
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傅剑宇
供职机构:中国科学院微电子研究所
研究主题:探测器 刻蚀 硅基 悬臂梁 衬底
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